真空管式爐的工藝流程

　　真空管式爐通過結合真空技術與熱處理技術，在真空或可控氣氛環境下對材料進行高溫加熱處理，其工藝流程如下：

　　1、樣品放置與密封

　　將待處理材料放入爐管內，注意避免堵塞氣體通道。關閉爐門后，通過法蘭和密封圈（如氟橡膠O型圈）實現真空密封。

　　2、抽真空與通氣

　　啟動真空泵抽至目標真空度，或根據工藝需求通入特定氣體。例如，在CVD（化學氣相沉積）工藝中，需先抽真空再通入反應氣體以沉積薄膜。

　　3、加熱與保溫

　　在溫控儀上設置升溫程序，啟動加熱后，系統自動執行升溫、保溫階段。例如，金屬熱處理可能需在800℃保溫2小時以完成相變。

　　4、冷卻與取樣

　　加熱結束后，可選擇自然冷卻或通入氣體加速冷卻。待溫度降至安全范圍（如<100℃）后，打開爐門取出樣品。